일본이 막은 '초고순도 불화수소'…SK가 양산 시작

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후 경북 영주 공장 내 15톤 규모 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다.

초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%다. SK머터리얼즈는 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다.

불화수소와 함께 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. SOC는 포토레지스트(감광액) 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 소재며, ArF PR은 포토레지스트의 일종으로 두 제품 모두 초미세 패턴 형성에 쓰이는 대표적 고부가 제품이다.

 

특히 ArF PR은 해외의존도가 90%에 달하는 만큼 제품 양산이 본격화되면 국내 반도체 제조사들에 안정적인 소재 공급이 가능해진다. SK머티리얼즈는 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런 규모의 포토레지스트 생산을 목표로 하고 있다.

SK실트론도 지난해 미국 듀폰사로부터 전기 자동차에 필수적으로 사용되는 소재인 차세대 전력 반도체용 SiC(실리콘카바이드) 웨이퍼 사업을 인수했다. 이전까지 실리콘카바이드 웨이퍼 사업은 미국·유럽의 소수 업체가 글로벌 시장을 과점해 왔었다.